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ALD 原子層沈積製程及設備技術

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  很榮幸能夠接受到陽明交通大學游欽宏兼任副教授的邀約,於113學年度第1學期在工學院專班半導體材料與製程設備組的課程「半導體製程設備概論」(課號:ENSE30006)中,針對 ALD (原子層堆積) 的相關製程與設備技術,與修課同學進行分享。這次講座於2024年10月25日舉行,課程過後, 我希望也透過個人的部落格,將本課堂的講義內容提供給業內同好,促進專業知識的交流與合作。 Document Link

Impalnter 離子注入製程及設備技術介紹

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  很榮幸能夠接受到陽明交通大學游欽宏兼任副教授的邀約,於113學年度第1學期在工學院專班半導體材料與製程設備組的課程「半導體製程設備概論」(課號:ENSE30006)中,針對離子注入的相關製程與設備技術,與修課同學進行分享。這次講座於2024年10月11日舉行,我希望也透過個人的部落格,將本課堂的講義內容提供給業內同好,促進專業知識的交流與合作。 Document Link

服務業節能服務網提供之節能技術手冊

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應工研院產業學園的邀約, 在準備 "機械設備盤點與耗能診斷" 的過程中, 從 "服務業節能服務網:https://www.ecct.org.tw/knowledge/knowledge?id=74929c3ed2814cabb3b312672ab75186&p=1" , 下載了以下由經濟部能源局指導, 財團法人台灣綠色生產力基金會編印, 相關服務業各式場所關於節約能源技術的相關參考文獻, 茲將其完整的下載與整理, 並經由個人網誌分享給有興趣的同好, 期望對節能的推動能有所助益。 變頻器節能技術手冊, 發佈日期:112年11月, 檔案格式:.pdf (5258kb) 空調系統節能管理技術手冊, 發佈日期:112年11月, 檔案格式:.pdf (6032kb) 服務業營業場所冷凍冷藏智慧節能控制技術應用手冊, 發佈日期:111年12月, 檔案格式:.pdf (5353kb) 購物中心節能技術手冊, 發佈日期:111年11月, 檔案格式:.pdf (8141kb) 醫院節能技術手冊, 發佈日期:111年11月, 檔案格式:.pdf (9767kb) 服務業營業場所開放式冷凍冷藏展示櫃節能應用手冊, 發佈日期:111年01月, 檔案格式:.pdf (6266kb) 辦公大樓節能技術手冊, 發佈日期:110年12月, 檔案格式:.pdf (2613kb) 電影院業節約能源技術手冊, 發佈日期:109年12月, 檔案格式:.pdf (2963kb) 服務業營業場所空氣簾節約能源技術手冊, 發佈日期:109年12月, 檔案格式:.pdf (7630kb) 營業場所空調環境模擬及節能應用分析技術手冊, 發佈日期:108年12月, 檔案格式:.pdf (6976kb) 超級市場節能技術手冊, 發佈日期:108年12月, 檔案格式:.pdf (5304kb) 旅館業節約能源技術手冊, 發佈日期:108年12月, 檔案格式:.pdf (4876kb) 資料中心節能應用技術指引, 發佈日期:107年12月, 檔案格式:.pdf (8595kb) 量販店節約能源技術手冊, 發佈日期:107年11月, 檔案格式:.pdf (3531kb) 百貨公司節約能源技術手冊, 發佈日期:107年11月, 檔案格式:.pdf (3111kb) 空調系統空氣側...

行政院環境保護署提供之重要節能參考文獻

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應工研院產業學園的邀約, 在準備 "機械設備盤點與耗能診斷" 的過程中, 從行政院環境保護署的網站, 下載了以下由政府委託國內各研究機構編撰的節能相關重要的參考文獻, 茲將其完整的下載與整理, 並透過個人網誌分享予有興趣的同好, 期望對節能的推動能有所助益。 行政院環境保護署 ... 重要節能參考文獻 TM001 平面顯示器產業SF6破壞去除設備排放減量方法  TM002 半導體產業含氟及N2O溫室氣體破壞處理設備排放減量方法學 TMS-II.001 工業設施採用高效率燈具 TMS-II.002 工業設施的排氣/高溫產品廢熱回收利用  TMS-II.003 更換為高效率空調設備 TMS-II.004 既有空壓系統之能源效率提升  TMS-II.006 風扇/泵浦導入變轉速控制、台數控制 TMS-II.007 更換為高效率變壓器 TMS-II.008 更換為高效率空壓機 TMS-II.009 工業設施既有馬達汰換為高效率馬達  TMS-II.010 更換為高效率鍋爐 TMS-II.011 整併區域空調冰水系統 TMS-II.012 塑膠射出成型機導入變頻控制 TMS-II.013 蒸汽系統最佳化 TMS-II.014 以熱泵取代現有加熱設備 TMS-II.015 更換為高效率工業爐 TMS-II.016 加熱保溫設備爐體導入保溫措施 TMS-II.017 生產製程整合以減少熱能損失 TMS-II.018 更換為高效率冷凍冷藏設備 TMS-II.019 無風管空調主機導入變頻控制 TMS-II.020 導入控制設備提升冰水系統效率  TMS-II.021 更換為高效率射出成型機 TMS-II.022 廠內熱能需求由鄰廠供應  TMS-III.001 工業加熱設施改採低碳化石燃料 TMS-III.002 回收冷凝水提高蒸汽系統效率 TMS-III.003 工業設施排放水廢熱回收利用 TMS-III.004 鍋爐等加熱設備採用液態生質能燃料 TMS-III.005 修改/替換既有廢熱利用設備增加蒸汽生產並提供其餘工業用戶使用...

SECS/GEM 製程設備連線技術

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  花了一些時間, 將之前參加工研院主辦的 "製程設備 SECS/GEM 連線技術培訓" 的課程內容, 依個人認知的內容加以整理, 希望能夠提供一個讓新手可以比較容易理解與上手的說明順序, 其中包含 SECS/GEM的格式演進,  SML檔案格式, State-machine 的狀態流程,  模擬軟件的操作方法, 與系統實現的步驟等。最後, 如果希望經由委外的方式來實現設備 SECS/GEM 的功能時, 提供在台灣或國外可以尋求解決方案的單位或公司資源。 #SEMI  #HSMS  #SECS  #GEM Document Link

How to link Mitsubishi PLC using C#&SLMP (MC protocol)

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  This article is the sequial of "How to use C# program to control Mitsubishi PLC". It presents another way of connecting a PC to a Mitsubishi PLC via SLMP (Seamless Message Protocol) or the so-called MC protocol.  SLMP is a common protocol that realizes the seamless connection between Ethernet (based on TCP protocol) and CC-Link IE data communication. This connection cannot be tested with a software simulator, it must be tested to actual PLC hardware. Although the program development process will bring some inconvenience, using the program example provided in this report can still easily integrate the program and quickly build another channel for the communication and control of a Mitsubishi PLC. #MitshubishiPLC #CSharp #PLCSimulator #SLMP #MC-protocol Doculink link Software link

Market survey of Ion-implanter in China 2023

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Due to the trade competition between China and USA, the development of China's semiconductor industry has faced a severe "stuck neck problem". Although the overall replacement rate of domestic equipments does not exceed 25% on average, leading manufacturers have emerged in some important key process equipment, such as: 芯源微, Kingsemi, for Clean Track 北方华创, Naura, for CVD & PVD 中微半导体, Advanced Micro, for Etcher & MOCVD 拓荆科技, PIOTECH, for PECVD & ALD 华海清科, Hwatsing, for CMP Looking at the current status of equipment research and development, it is found that only the "ion implanter" is the last piece of the puzzle that is still lacking. There is still no remakerable leading company emerged in the Chinese market. Teams with relevant technologies still have a chance to compete in the Central Mainland.  Based on this reason, this article conducts research on the relevant market status to further confirm whether the current investment in research and develo...

An UI design template in C#

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人機界面 (UI) 的設計, 對任何設備而言, 都是至關重要, 並可能成為影響設備成敗的關鍵性系統開發環節。一組優異的界面設計, 通常能帶給使用者直觀的操控功能, 便利的參數設定, 菜單 (Recipe) 的維護, 以及完整的資訊記錄等, 可以讓設備提昇在客戶心目中的地位, 並且得到極大加分的作用。 本單元提供一組設備UI 操控界面的設計模版, 提供工程師在進行設備的系統設計與功能整合時, 期初設計的參考, 以做為後續優化系統設計的基礎。 #UIdesign  #Template #C# Document link Software link

Network programming in C#

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  網路程式的應用範圍非常的廣泛, 舉凡網頁瀏覽, 線上遊戲, 各種手機通訊軟體等, 已深入到我們日常的生活中。在工業控制的應用領域, 網路控制同樣舉足輕重, 基於簡化實體接線的考量, 目前機台電控系統的主流設計, 大多採用分散式的系統設計, 使用網路通訊的方式, 在各控制模組之間, 加以串連以進行即時的控制互連與資料溝通。 本技術應用單元將介紹幾項常用的網路通訊技術, 用於實現設備的分散式控制, 包含: 1. UDP 2. TCP/IP 3. RS232 等 4. 透過網路控制的機械手臂案例 #NetworkProgramming #UDP #TCP #RS232 Document link Software link

Basic operations of C#

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  本資料著重在開發PC-based的控制應用過程中, 一些經常使用到基本C#的程式功能加以整理並提供參考。學員最好能夠俱備基本C/C++ 語言的程式能力, 在學習的過程中, 方不會感到吃力。 後續如果希望能夠再精進個人的程式能力, 可以自行參考其他的相關書籍, 或者登入微軟的官網 Microsoft Developer Network, 其中有許多詳盡的資料與線上文獻可供參考。 程式能力的提昇, 需要透過實際參與計畫開發的實戰過程來逐步養成, 動手做, 做中學, 才能夠培養厚實的系統開發能力。 #C/C++/C#  #BasicOperation Click here to view document