SECS/GEM 製程設備連線技術

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花了一些時間, 將之前參加工研院主辦的 "製程設備 SECS/GEM 連線技術培訓" 的課程內容, 依個人認知的內容加以整理, 希望能夠提供一個讓新手可以比較容易理解與上手的說明順序, 其中包含 SECS/GEM的格式演進,  SML檔案格式, State-machine 的狀態流程,  模擬軟件的操作方法, 與系統實現的步驟等。最後, 如果希望經由委外的方式來實現設備 SECS/GEM 的功能時, 提供在台灣或國外可以尋求解決方案的單位或公司資源。

#SEMI  #HSMS  #SECS  #GEM


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  1. Vincent's Work Place2023年11月3日 下午4:45

    最近在弄這個, 還是有很多地方不是很懂, 有這篇文章太好了!!

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  2. Vincent's Work Place2024年1月24日 下午5:26

    So long no update , Wish share more docs.

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