ALD 原子層沈積製程及設備技術
很榮幸能夠接受到陽明交通大學游欽宏兼任副教授的邀約，於113學年度第1學期在工學院專班半導體材料與製程設備組的課程「半導體製程設備概論」（課號：ENSE30006）中，針對 ALD (原子層堆積) 的相關製程與設備技術，與修課同學進行分享。這次講座於2024年10月25日舉行，課程過後, 我希望也透過個人的部落格，將本課堂的講義內容提供給業內同好，促進專業知識的交流與合作。
行政院環境保護署提供之重要節能參考文獻
應工研院產業學園的邀約, 在準備 "機械設備盤點與耗能診斷" 的過程中, 從行政院環境保護署的網站, 下載了以下由政府委託國內各研究機構編撰的節能相關重要的參考文獻, 茲將其完整的下載與整理, 並透過個人網誌分享予有興趣的同好, 期望對節能的推動能有所助益。 行政院環境保護署 ... 重要節能參考文獻 TM001 平面顯示器產業SF6破壞去除設備排放減量方法 TM002 半導體產業含氟及N2O溫室氣體破壞處理設備排放減量方法學 TMS-II.001 工業設施採用高效率燈具 TMS-II.002 工業設施的排氣/高溫產品廢熱回收利用 TMS-II.003 更換為高效率空調設備 TMS-II.004 既有空壓系統之能源效率提升 TMS-II.006 風扇/泵浦導入變轉速控制、台數控制 TMS-II.007 更換為高效率變壓器 TMS-II.008 更換為高效率空壓機 TMS-II.009 工業設施既有馬達汰換為高效率馬達 TMS-II.010 更換為高效率鍋爐 TMS-II.011 整併區域空調冰水系統 TMS-II.012 塑膠射出成型機導入變頻控制 TMS-II.013 蒸汽系統最佳化 TMS-II.014 以熱泵取代現有加熱設備 TMS-II.015 更換為高效率工業爐 TMS-II.016 加熱保溫設備爐體導入保溫措施 TMS-II.017 生產製程整合以減少熱能損失 TMS-II.018 更換為高效率冷凍冷藏設備 TMS-II.019 無風管空調主機導入變頻控制 TMS-II.020 導入控制設備提升冰水系統效率 TMS-II.021 更換為高效率射出成型機 TMS-II.022 廠內熱能需求由鄰廠供應 TMS-III.001 工業加熱設施改採低碳化石燃料 TMS-III.002 回收冷凝水提高蒸汽系統效率 TMS-III.003 工業設施排放水廢熱回收利用 TMS-III.004 鍋爐等加熱設備採用液態生質能燃料 TMS-III.005 修改/替換既有廢熱利用設備增加蒸汽生產並提供其餘工業用戶使用...
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